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低温等离子体的产生方法
射频低温等离子体是利用高频高压使电极周围的空气电离而产生的低温等离子体。由于射频低温等离子的放电能量高、放电的范围大，现在已经被应用于材料的表面处理和有毒废物清除和裂解中。射频等离子可以产生线形放电，也可以产生喷射形放电 。
低温等离子体的产生及与普通射频的区别：在高温或强电场的作用下，原来呈中性的原子会被电离，生成一对可以自由运动的正负离子，因为正负离子总是成对出现，所以正离子和负离子的数量相等，这种物质状态也就被称为等离子体。
人工生成等离子体的方法，气体放电法因其简便高效而受到青睐，如荧光灯、霓虹灯、电弧焊等都是实例。等离子体的种类多样，其密度和温度跨度极大。从稀薄星际等离子体的106个/m3，到电弧放电等离子体的1025个/m3，跨越近20个数量级。
在人工生成等离子体的方法中，气体放电法比加热的办法更加简便高效，诸如荧光灯、霓虹灯、电弧焊、电晕放电等等。在自然和人工生成的各种主要类型的等离子体的密度和温度的数值，其密度为106（单位：个/m3）的稀薄星际等离子体到密度为1025的电弧放电等离子体，跨越近20个数量级。
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